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干式真空泵

干式真空泵

發布時間:2019-09-07

所屬分類:干式真空泵

生產廠家:山東澤一真空設備有限公司

產品價格:來電咨詢

產品詳情產品詢盤

應用
干式機械真空泵的應用是廣泛的,主要有以下幾個方面:
1)低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中;
2)半導體刻蝕工藝。在這些生產工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒;
3)除半導體工藝外的某些產生微粒的工藝,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,則用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要求;
4)在化學工業、醫藥工業、食品工業中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等,要防止有機溶劑造成污染,適合用干式真空泵;
5)用做一般無油清潔真空系統的前級泵,以防止油污染。

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