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螺桿真空泵的安達功能特性

  螺桿真空泵在真空泵行業中是較好的產品,在工廠上也是隨處可見。螺桿真空泵的價格相對于其他的真空泵的價錢來說是較為便宜的,而且螺桿真空泵的工作效率高,且螺桿真空泵的功能較全。那么螺桿真空泵具體的功能特性有哪些呢?

  真空泵廣泛運用于真空冶煉、真空熱處理、真空鍍膜、電氣產品、化工制藥、真空模擬、電光源、硅晶體培植、除水除氣、塑料制品、真空浸漬、真空(冷凍)干燥、制冷裝置、食品加工及包裝、汽車制造等行業。

  干式螺旋真空泵浦乃是利用一對互相咬合的螺旋轉子,在轉子間維持微小的間隙,使得真空泵浦運轉時腔體內無需潤滑,因而無油氣回漏污染的問題。透過轉子線形良好的密封效果,壓力可達7.5×10-3Torr.螺旋式真空泵浦由于排氣路徑短,粉塵移除能力較其他型式的真空泵浦強,加上轉子表面披覆特殊材質的鍍膜,因此可適用于PECVD、Etching等嚴苛制程。

  干式螺旋真空泵浦,承襲上一代真空泵浦優良的轉子設計,同時改善殼體的冷卻方式,采用水套間接水冷的方式來降低殼體的溫度,能夠更精準地控制泵浦內部溫度,減少沉積物的產生,增加真空泵浦的壽命。

  PS系列真空泵浦亦采用水冷罐裝密封馬達,除了能維持更低的馬達運轉溫度增加馬達的壽命外,也可完全避免制程氣體外漏的風險。

  PS系列真空泵浦亦可配備微電腦控制器,可同時監控馬達電流、馬達溫度、殼體溫度、冷卻水流量、氮氣流量以及齒輪箱油位高低,提供真空泵浦完整的安全性保護,十分適用于光電、半導體、太陽能與TFT-LCD等產品穩定性要求高之產業。

小編:Qian


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